專為高端製程開發的表面清潔解決方案

本公司之磨刷清洗機，針對高科技製程中所需之高潔淨度需求，提供具高穩定性與高度整合性的乾濕複合式表面清洗方案。設備導入高精度伺服控制磨刷系統，可搭配多段式化學液處理、超純水沖洗與氣刀乾燥模組，實現對晶圓、玻璃基板、PCB等基材表面之微粒與化學殘留物的有效去除。

核心功能與技術特點：

• 伺服驅動精密磨刷模組
  配置高轉速伺服馬達驅動之雙軸磨刷頭，針對不同材料與污染物進行可程式化設定，確保清潔力與基材完整性之平衡。
• 多段式清洗與液體處理流程
  支援酸鹼性化學液、超純水、IPA、表面活性劑等清洗劑流程，並具備獨立流路與精密流量控制，避免交叉污染。
• 模組化氣刀與乾燥系統
  結合高速氣刀與IR/熱風乾燥模組，確保水痕零殘留，提升乾燥效率，降低缺陷率。
• 智慧化控制與製程監控介面
  內建高階PLC與觸控式人機介面（HMI），支援參數配方儲存、即時製程監控與遠端診斷功能，可整合MES/Supervisory系統。
• 潔淨室等級設備構造
  全機採用SUS 304/316與化學耐蝕工程塑料，符合無塵室ISO Class 4以上使用要求。

應用領域：

✔️晶圓製造（Front-End / Back-End）

✔️光電顯示面板（TFT-LCD / AMOLED）

✔️導電膜基材清潔（ITO / PET）

✔️PCB電路板製程清潔

✔️車用電子 / 第三代半導體材料表面處理